Фоторезист позитивный ФП-383
|
Наименование параметра |
Значение |
|---|---|
|
Внешний вид |
прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка |
|
Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более |
2 |
|
Массовая доля воды, %, не более |
0,6 |
|
Массовая доля сухого остатка, %, в пределах |
19,0-22,0 |
|
Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах |
11,5-15,0 |
|
Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах |
6,0-6,5 |
|
Внешний вид пленки фоторезиста |
прозрачная, блестящая без разрывов |
|
Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм |
2,0±-0,3 |
|
Толщина пленки, мкм |
1,1±-0,1 |
|
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее |
180 |
|
Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более |
0,10 |
Гарантийный срок хранения: 6 месяцев.
Применяется для выполнения фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов и схем, металлизированных шаблонов, печатных плат. Представляет собой раствор светочувствительного о-нафтохинондиазида и фенолоформальдегидных смол в диоксане.