Фоторезист позитивный ФП-383

Наименование параметра

 Значение

Внешний вид

прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка

Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более

2

Массовая доля воды, %, не более

0,6

Массовая доля сухого остатка, %, в пределах

19,0-22,0

Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах

11,5-15,0

Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах

6,0-6,5

Внешний вид пленки фоторезиста

прозрачная, блестящая без разрывов

Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм

2,0±-0,3

Толщина пленки, мкм

1,1±-0,1

Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее

180

Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более

0,10

Гарантийный срок хранения: 6 месяцев.

Применяется для выполнения фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов и схем, металлизированных шаблонов, печатных плат. Представляет собой раствор светочувствительного о-нафтохинондиазида и фенолоформальдегидных смол в диоксане.

С этим продуктом покупают